高度な技術・豊富な経験による信頼の技術サポート

株式会社アクト

☆ クライオポンプオーバーホール・修理
☆ クライオコンプレッサー用アドゾーバ再生
☆ 半導体・電子部品製造装置の改造、ユニット、部品の開発、設計、製造、修理、サービス、装置の移設、立ち上げ等行います。

クライオポンプ、半導体・電子部品製造装置のことなら、「高度な技術と豊富な経験に裏付けられた信頼の技術サービスでデバイス生産活動に貢献する」　株式会社アクトへご相談下さい。
お客様のニーズに合わせた最善策をご提案致します。

事業内容

クライオポンプオーバーホール

殆どのメーカー・機種・ご使用プロセスに係らず、従来品から最新クライオポンプまで、お客様のニーズに合わせたオーバーホール・修理を行います。また、各メーカーの
・コールドトラップのオーバーホール・修理
・イオン注入装置用クライオポンプパネル洗浄（無害化洗浄）
・クライオポンプ性能検査
も対応致します。

コンプレッサー用アドゾーバ再生

メーカー・機種に係らず再生致します。アドゾーバ内部の吸着剤を新品と交換することにより性能は新品同様、新品アドゾーバ購入と比べ費用低減が図れます。
また、
・アドゾーバ交換を含めたクライオコンプレッサー動作確認（一部修理）も対応致します。

真空装置の設計・改造・サービス

メーカー・装置を限定することでより高度な技術・サービスを提供いたします。
・半導体・電子デバイス向け研究用、及び生産用等さまざまな用途に対応した装置の改造、ユニット、部品の開発、設計、製造、修理、サービスを行います。
・装置の移設、立上げ対応致します。