クライオポンプオーバーホール

確かな技術、熟練した技能、豊富な実績を基に、メーカー、機種、ご使用プロセスに係わらず従来品から最新クライオポンプまで、低価格、高品質なオーバーホールをお客様のニーズに合わせて提供いたします。
従来品に加え、OB-IS, P-300, SHI等のポンプの対応可能です。
納期（弊社到着後、出荷まで）は通常２～４週間ですが状況により遅れる場合があります。
お急ぎの場合はご連絡ください。
一部ポンプはエクスチェンジ対応が可能です。お問い合せください。
また、下記等対応可能です。
・コールドトラップのオーバーホール・修理
・イオン注入装置（インプラ）用クライオポンプパネル洗浄（無害化洗浄）
・クライオポンプ性能検査のみの対応
・クライオポンプ修理　⇒　標準OH部品以外の部品（モジュール、モーター等）の修理、交換等
・お客様先でのポンプ交換、動作確認作業
・お客様先でのポンプオーバーホール

クライオポンプオーバーホールは2種類、お客様にてお選び頂けます。

1. フルオーバーホール (FULL OH)
2. スタンダードオーバーホール (STD OH)

1. フルオーバーホール (FULL OH)

・FULL OH 内容の実施。
・パネル類の洗浄、必要に応じ再メッキ処理。
・15Kチャコールパネルのチャコール貼り替え（新品チャコール）。
・性能検査: 弊社標準検査実施。
・保証期間: 弊社の責に依る冷凍能力不具合に対し納入後1年間。

2. スタンダードオーバーホール（STD OH）

・STD OH　⇒
部品の良否に係らず標準OH部品と交換、調整。
冷凍機部以外に不具合がある場合、有償にて対応可。
・2nd ディスプレッサー内の蓄冷剤の交換。
・性能検査: 弊社標準検査実施。但し、合否は冷凍機性能（温度）のみ。
・保証期間: 弊社の責に依る冷凍能力不具合に対し納入後1年間。

クライオポンプオーバーホール内容（OB相当品）

	品名	FULL OH	STD OH
冷凍機	ディスプレッサーシール	○	○
	1st ディスプレッサー洗浄	○	○
	2nd ディスプレッサー洗浄、蓄冷剤の交換	○	○
	バルブボディーAssy.	○	○
	ベアリング交換	○	○
	スコッチヨークブッシング交換	○	○
	各ポート部 O-Ring 交換（一部は必要により交換）	○	○
真空部	チャコールアレー（チャコール交換）	○	×
	80kコンディショニングアレー（洗浄）	○	×
	80kラジエーションシールド（洗浄）	○	×
	アレートップ（洗浄）	○	×
	リリーフバルブフィルター（洗浄）	○	×
	O-Ring交換	○	×
	ガスケット	○	×

1. 標準外部品
上記に含まれない下記部品の交換が必要な場合は別途ご請求とさせていただきます。
・ベッセル
・シリンダー
・スコッチヨーク
・ドライブモーター
・ヒーター
・その他

クライオポンプオーバーホール内容(その他ポンプ）

	品名	FULL OH	STD OH
冷凍機	ディスプレッサーシール	○	○
	1st ディスプレッサー洗浄	○	○
	2nd ディスプレッサー洗浄、蓄冷剤の交換	○	○
	ベアリング交換	○	○
	A). ロータリーバルブの確認	○	○
	A). ロータリーバルブベアリングの交換	○	○
	H). バルブボディ交換	○	○
	スコッチヨークブッシング交換	○	○
	各ポート部 O-Ring 交換（一部必要により交換）	○	○
真空部	チャコールアレー（チャコール交換）	○	×
	80kコンディショニングアレー（洗浄）	○	×
	80kラジエーションシールド（洗浄）	○	×
	アレートップ（洗浄）	○	×
	リリーフバルブフィルター（洗浄）	○	×
	O-Ring交換	○	×
	ガスケット、O-Ring	○	×

A): Anelva クライオポンプに対応
H): Helix CT クライオポンプに対応

1. 標準外部品
上記に含まれない下記部品の交換が必要な場合は別途ご請求とさせていただきます。
・ベッセル
・シリンダー
・スコッチヨーク
・ドライブモーター
・ロータリーバルブ
・固定バルブ
・センサー
・その他